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| 1.单片式装置的优点（与浸渍.槽式比较） |
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| ■ウエハー表面のパーティクル数が極めて少い（25nmノード迄対応）
最大オゾ |
例：付着パーティクル数…10個/W 以下レベル（0.08μｍ以上パーティクル）
（参考）槽式の場合200個/W レベル |
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■薬液·純水の消費量が少ない
薬液…（例）1％dHFの場合 20 /日
純水…ウエハ1枚処理あたり 0.5～1/分 |
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■小さな装置サイズ（お客様ごとにカスタマイズ可能
8インチウエハ対応の場合
装置本体 1100（巾），800（奥行），1900（高）
薬液供給ユニット 510（巾），800（奥行），1800（高） |
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2.高性能で安価な価格設定 |
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当社はお客様目線に立ち、プロセス性能を満足させた上で、洗浄装置価格を下げる工夫をしております。
例えば独自設計による処理チャンバ構造によるサックバックを付けずに液ダレ防止等を処理します。
また洗浄装置は独自の搬送方式により、コンパクトサイズな仕様です。
いわゆる『高性能は欲しいが、高価格では見合わない』という方に最適な洗浄装置です。
当社製品を他社と比較したポジションマップを右に示しました。装置性能は大手洗浄製造装置会社と同等で、
しかも価格は約2分の1となっております。 |
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3.カスタマイズ可能 |
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各社が必要なプロセス性能や装置サイズ、販売価格などをヒアリングさせて頂き、各社ごとに最適な洗浄装置の 設計を提案します。
従来ですと装置に使用される機能、材質が過剰になってしまい、洗浄装置価格が高価になってしまいます。
MTKは顧客第一に考えます。そのため時には顧客の予算をお聞きした上で、装置の仕様を決定する順序になります。
ダメとあきらめることなしに、先ずはMTKへご連絡下さい。 |
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4.充実した製造サポート体制 |
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弊社MTKは洗浄装置の仕様決定?プロセス条件の提案を顧客に対して行うプロの技術会社です。
MTKは経験豊富な他会社と協力関係を締結しております。 大量のご注文に応えるために、製造は株式会社シナノ精機が行います。
また24時間以内の現地でのサポートにもお応えします。株式会社シナノ精機は、新潟県長岡市に社を構え 主に半導体用製造装置を製造し、アフタサポートを行っているプロ集団です。
更に国内販売網の拡充と大きな資金が必要な装置ビジネスにおいて、顧客様には安心頂けるようになっております。
金沢機工株式会社は金沢市に本社を構え、創業70年と歴史ある優良老舗企業であります。 |
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枚葉式洗浄装置の用途 |
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○ 半導体（前工程·後行程）
○ SAWフィルター等のセンサー
○ ハードディスク
○ FPD（液晶、スマートフォン等）
○ MEMS
○ 太陽電池 |
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枚葉式洗浄装置のメリット（槽式との比較） |
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